电镜和其它精密仪器对环境震动要求很高,例如电镜要求X、Y、Z方向的低频震动(0~30Hz)<6微米;30Hz以上的高频震动<12微米.。20Hz以下的低频震动,对电镜的干扰影响最大。如果超过该指标,电镜在高倍率(1万倍以上)照相,就难于得到理想图像。普通扫描电子显微镜(SEM)当安置到楼房高层(2层以上),或置于有强震动的场地时(例如附近地下有地铁,),高倍率3万倍以上观察、照相就无法进行。而必须使用震动隔离系统-防振台。场发射电镜(FEM)要在几十万倍观察和照相,对震动要求更高。即便安装在一楼,也都不能满足要求。一般都要求安装防振台。
电镜和其它精密仪器对环境震动要求很高,例如电镜要求X、Y、Z方向的低频震动(0~30Hz)<6微米;30Hz以上的高频震动<12微米.。20Hz以下的低频震动,对电镜的干扰影响最大。如果超过该指标,电镜在高倍率(1万倍以上)照相,就难于得到理想图像。普通扫描电子显微镜(SEM)当安置到楼房高层(2层以上),或置于有强震动的场地时(例如附近地下有地铁,),高倍率3万倍以上观察、照相就无法进行。而必须使用震动隔离系统-防振台。场发射电镜(FEM)要在几十万倍观察和照相,对震动要求更高。即便安装在一楼,也都不能满足要求。一般都要求安装防振台。